NAGANO KEIKI半導體產(chǎn)業(yè)用高溫壓力傳感器

NAGANO KEIKI半導體產(chǎn)業(yè)用高溫壓力傳感器

ZT17 是一系列面向半導體制造、可測 200 °C 的“高溫壓力傳感器/變送器"

1. ZT17-120 系列（原標準型）
• 介質(zhì)溫度：-20 … +120 °C
• 傳感部填充高純度液體作為熱緩沖，屬于“液封式"結(jié)構(gòu)
• 壓力量程：0～0.3 / 0.5 / 1 / 2 / 3.5 / 5 / 10 / 20 MPa 及對應的 -0.1… 表壓段
• 精度：±0.5 %FS（23 °C 基準）
• 輸出：4-20 mA（二線）或 0/1-5 VDC（三線）
• 接液材質(zhì)：Co-Ni 系感壓元件＋SUS316L 接頭；表面平均粗糙度 0.18 μm Ra， 0.7 μm Rz
• 密封指標：He 檢漏 5×10?1 Pa·m/s 以下，0.1 μm 以上粒子 ≤ 1 個/min
• 認證：CE（EMC）、RoHS
2. ZT17-200 系列（高溫干式型，新品）
• 介質(zhì)溫度：-20 … +200 °C
• 采用新開發(fā)的“無封裝液"干式感壓元件，避免高溫下填充液揮發(fā)或滲透
• 溫度補償范圍 15…200 °C；溫漂 Zero ±1 %FS、Span ±3 %FS
• 綜合精度：±0.65 %FS（含線性、重復性、遲滯）
• 輸出、量程檔與 120 型相同，但電源電壓 10-30 VDC
• 接液部全 SUS316L，經(jīng)超臨界清洗與特殊表面處理，粒子＜0.1 μm（5 V 等電位下 LVT 測試“零計數(shù)"）
• 接頭形狀：S 形、T 形一體，可選 1/4 VCR、1/4 U 或 3/8 VCR 螺紋
• 同樣滿足 CE、UKCA、RoHS